废液处理

最终处理场所浸出液的脱盐、浓缩，废液的脱盐、浓缩等
 

半导体工序废液用途实例：

废液的脱盐、浓缩（半导体工序废液）

电渗析

Item (unit) 原液 脱盐水 浓缩液
(NH4)2SO4(g/L) 30 7.6 100
流量(m3/day) 1.1 0.84 0.26

半导体工序废液要点：

实现废液的减容化